دوره آشنایی با سیستم‌های میکروالکترومکانیکی (MEMS)

توضیحات دوره دستگاه‌های MEMS از همان تجهیزات و فرآیندهایی استفاده می‌کنند که برای دستگاه‌های نیمه‌هادی به کار می‌روند تا حسگرها و محرک‌هایی را در مقیاس میکرو ایجاد کنند که نوآوری را در طیف گسترده‌ای از فناوری‌ها در جامعه مدرن پیش می‌برد. فراگیران از طریق این دوره قادر خواهند بود نشان دهند که چگونه این فرآیندها به طور خاص برای ساخت MEMS استفاده می‌شوند و برخی تفاوت‌ها را با ساخت نیمه‌هادی برجسته کنند. در این دوره موارد کلیدی در کاربردهای مصرفی، صنعتی، هوافضا و پزشکی برجسته شده و با جزئیات بیشتری شرح داده می‌شوند. این دوره بخشی از تخصص ساخت نیمه‌هادی و MEMS است. توصیه می‌شود فراگیران دوره‌های قبلی این تخصص را قبل از این دوره بگذرانند.